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リコー電子デバイス株式会社

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環境経営

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ISO14001認証

ISO14001(環境マネジメントシステム)の認証を取得継続中

1997年6月4日 やしろ工場認証取得
1997年11月28日 やしろ工場、池田事業所、併せて統一システムを構築し、財団法人日本品質保証機構(JQA)から拡大認証を取得しました。
2000年6月23日 品川、新横浜の設計部門も含めた、拡大及び更新審査を受け認証取得
2007年2月9日 リコー統合認証

認証情報

認証機関 財団法人 日本品質保証機構
登録番号 JQA-E-70001

やしろ工場「フッ酸リサイクルシステム」導入

半導体業界世界初の「フッ酸リサイクルシステム」など環境保全活動を推進しています。

半導体を生産しているリコーやしろ工場では、「フッ酸リサイクルシステム」を導入。このシステムは、晶析法によってフッ酸を回収し、螢石に戻し、再びフッ酸にリサイクルする世界初のシステムで、従来の高分子凝集剤によるシステムに比べ、コンパクトにでき、薬品原料として再使用可能な純度の高い(90%以上)合成螢石が生成できます。

フッ酸は、半導体のエッチング工程で使用する化学薬品で、従来は汚泥として適正処理を行っていました。このシステム導入により、物質を循環させるリサイクルが実現でき、レベルの高いごみゼロを達成することができました。このシステム導入は、既存の排水処理装置の変更を可能とし、大幅な省エネルギーにも貢献しました。この技術の先進性と省エネ性によりNEDO*1 の補助金交付事業として認定されました。

2004年には「フッ酸リサイクルシステム」の後段へ「高度フッ素処理システム」を設置し、排水中のフッ素濃度を低減させています。このシステムで発生する再生処理水を、再度「フッ酸リサイクルシステム」へ循環させる事で、フッ酸の回収率を向上させ再資源へも貢献しています。

フッ酸リサイクルシステムフロー図